石英玻璃的现状和发展趋势

是以硅化合物（包括卤化硅、氧化硅和有机硅）为原料，通过化学反应合成，称为合成石英玻璃。根据不同的反应原理，方法可分为：

（1）含硅化合物在无水环境中热氧化产生SiO2，常见的是等离子体化学气相沉积法(PCVD)；

（2）氢氧火焰中含硅化合物的水解反应（通常伴有氧化反应）称为火焰水解沉积法(FHD)；

石英玻璃

（3）含硅化合物在水介质中发生水解反应，称为溶胶-凝胶法。

此外，实际工业应用往往需要石英玻璃产品的形状，如半导体行业经常使用高纯石英玻璃管、石英玻璃棒等，因此石英玻璃产品改造主要采用热改造方法，即加热石英玻璃软化，然后根据实际需要改变其形状。